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蔡司高精度三坐標(biāo)XENOS

 蔡司高精度三坐標(biāo)XENOS可在各類(lèi)要求*高測(cè)量精度的領(lǐng)域使用——從科研機(jī)構(gòu)的測(cè)量實(shí)驗(yàn)室、航空和航天工業(yè)直至光學(xué)工業(yè)。這一高端測(cè)量機(jī)的測(cè)量精度達(dá)到技術(shù)極限,其測(cè)量范圍近1立方米。

創(chuàng)新的機(jī)械設(shè)計(jì)

XENOS采用了全新的機(jī)械設(shè)計(jì)理念。與標(biāo)準(zhǔn)橋式測(cè)量機(jī)不同:Y導(dǎo)軌分布于側(cè)壁頂部,分離式移動(dòng)行程軸僅橫梁于Y軸方向移動(dòng),更小及恒定的移動(dòng)重量——與移動(dòng)式平臺(tái)相比堪稱(chēng)真正的優(yōu)勢(shì)。更低及恒定的移動(dòng)重量造就了加速及*高速度的統(tǒng)一。

所有軸均采用線性驅(qū)動(dòng)

XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動(dòng)。其優(yōu)點(diǎn):高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動(dòng)無(wú)剪切力影響。結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù),XENOS的線性驅(qū)動(dòng)可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的極高定位精度。例如,測(cè)針偏移量越恒定,即可獲得更佳的測(cè)量精度。于測(cè)量曲面時(shí)更顯見(jiàn)另一優(yōu)勢(shì):測(cè)針的移動(dòng)路徑與預(yù)定值越吻合,即可實(shí)現(xiàn)越出色的精確性。

虛擬中央驅(qū)動(dòng)

XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),得益于蔡司*新的中央驅(qū)動(dòng)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)*佳的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動(dòng)力。作為*新控制系統(tǒng)及算法之結(jié)合,這是在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)獲得*佳測(cè)量精度及運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。

碳化硅陶瓷

XENOS在與精度密切相關(guān)的機(jī)器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止,該材料從未在類(lèi)似產(chǎn)品或精度的測(cè)量機(jī)器上得到使用。與常規(guī)陶瓷相比,碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%,而剛性則可*大提升30%,同時(shí)減重20%。與鋼材相比,碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。

加強(qiáng)型VAST gold

XENOS采用蔡司VAST gold測(cè)量探頭。在研發(fā)過(guò)程中,蔡司在測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)度方面對(duì)該探頭進(jìn)行了優(yōu)化。XENOS也采用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與*大長(zhǎng)度為800毫米的測(cè)針以及*大重量為500克的測(cè)針配套使用,包括非對(duì)稱(chēng)型測(cè)針。

優(yōu)化的氣浮軸承

全新強(qiáng)化處理氣浮軸承具有更佳的穩(wěn)定性及測(cè)量精度。

改進(jìn)的電子設(shè)計(jì)

通過(guò)全新的電子設(shè)計(jì),移動(dòng)線纜對(duì)精度影響顯著降低。計(jì)算機(jī)輔助精度修正(CAA)法和特殊附加CAA修正技術(shù)在獲得*大測(cè)量精度的過(guò)程中扮演著日趨重要的作用。

 

 
測(cè)量范圍(in mm)

  X Y Z
9/15/7 900 1,500 700

長(zhǎng)度測(cè)量誤差E0

自0.3+L/1,000μm

可配置的探頭

VAST gold

可選用的軟件

calypso

蔡司測(cè)量解決方案


xenos

 

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